Laboratoriet är en öppen renrumsanvändaranläggning för såväl externa som interna akademiska och industriella intressen. Nanotekniklaboratoriet erbjuder en bred plattform av processverktyg för utveckling och testning av nya idéer inom mikro- och nanoteknik.
Två strategiska fokusområden i renrummet är inom kvantenheter och mikrovågs/fotoniska enheter. Båda förlitar sig på vår styrka och vårt starka arv inom litografi på nanoskalan.
Mikrovågs- och fotonikprocesslinjen omfattar en komplett uppsättning processverktyg från materialtillväxt till förpackning där antingen tillgången är begränsad till mikrovågs- eller fotoniska enheter eller där endast godkända processer kan köras. Denna linje stöder komplex tillverkning av högkvalitativa III-V-komponenter med ett ganska stort antal masklager, såsom transistorer, varaktorer och lasrar.
På ett liknande sätt stöder Quantum Device Line tillverkning av toppmoderna kvantenheter som enelektrontransistorer och qubits.
Laboratoriet för nanotillverkning har 193 processverktyg tillgängliga för tillverkning och karakterisering i mikro- och nanoskala.
Publikationer i Chalmers Research
Vi dokumenterar kontinuerligt vår forskning i Chalmers databas Research. Via den här länken kan du se våra senaste publikationer
Myfab Chalmers
Nanotekniklaboratoriet är en renrumsanläggning för forskning och utveckling inom mikro- och nanoteknik. Här finns ett brett utbud av utrustningar för att utveckla och testa nya idéer på mikro- och nanoskala. Labbet ingår i den nationella forskningsinfrastrukturen Myfab, som koordineras av Chalmers.
