Kursplan för Mikrosystemteknik

Kursplanen innehåller ändringar
Se ändringar

Kursplan fastställd 2019-02-19 av programansvarig (eller motsvarande).

Kursöversikt

  • Engelskt namnMicrosystems technology
  • KurskodMKM110
  • Omfattning7,5 Högskolepoäng
  • ÄgareMPNAT
  • UtbildningsnivåAvancerad nivå
  • HuvudområdeElektroteknik
  • InstitutionMIKROTEKNOLOGI OCH NANOVETENSKAP
  • BetygsskalaTH - Mycket väl godkänd (5), Väl godkänd (4), Godkänd (3), Underkänd

Kurstillfälle 1

  • Undervisningsspråk Engelska
  • Anmälningskod 18113
  • Max antal deltagare30
  • Blockschema
  • Sökbar för utbytesstudenterJa

Poängfördelning

0104 Tentamen 7,5 hp
Betygsskala: TH
7,5 hp
  • 12 Jan 2021 fm J_DATA
  • 07 Apr 2021 em J
  • 26 Aug 2021 em J

I program

Examinator

  • Peter Enoksson
Gå till kurshemsidan (Öppnas i ny flik)

Kurstillfälle 2

  • Undervisningsspråk Engelska
  • Anmälningskod 99229
  • Max antal deltagare20
  • Sökbar för utbytesstudenterNej
  • Endast studenter med kurstillfället i programplan.

Poängfördelning

0104 Tentamen 7,5 hp
Betygsskala: TH
7,5 hp

      Examinator

      • Peter Enoksson
      Gå till kurshemsidan (Öppnas i ny flik)

      Behörighet

      Grundläggande behörighet för avancerad nivå
      Sökande med en programregistrering på ett program där kursen ingår i programplanen undantas från ovan krav.

      Särskild behörighet

      Engelska 6
      Sökande med en programregistrering på ett program där kursen ingår i programplanen undantas från ovan krav.

      Kursspecifika förkunskaper

      Helst bör deltagare ha en kandidatexamen eller motsvarande inom elektroteknik, teknisk fysik eller maskinteknik. Examinator för kursen kan göra undantag i särskilda fall.

      Syfte

      Kursens syfte är att tillhandahålla möjlighet för deltagarna att förvärva 
      allmänna kunskaper och djupare förståelse för moderna kiselbaserade mikrosensorer,
      mikroaktuatorer och mikrosystem.

      Lärandemål (efter fullgjord kurs ska studenten kunna)

      • förklara när och varför moderna kiselbaserade mikrosystem är användbara; Examination: skriftlig tentamen
      • beskriva de grundläggande principerna för kiselbaserade mikrosystem; Examination: skriftlig tentamen
      • rita enkla mask-layouter och skissa processplaner för tillverkning (i renrum) av mikrostrukturer och avgöra hur de resulterande strukturerna bör se ut; Examination: skriftlig tentamen
      • beskriva funktionen hos ett brett spektrum av mikrokomponenter; Examination: skriftlig tentamen
      • ta hänsyn till och utvärdera effekterna av miniatyrisering för mikrosystemkomponenters funktionalitet; Examination: skriftlig tentamen
      • diskutera överväganden vid förslag till mikrokomponenters design och tillverkning; Examination: projektmöten, skriftlig tentamen
      • kritiskt granska resultat från elektriska mätningar på mikrostrukturer; Examination: skriftlig tentamen
      • presentera projektresultat på ett vetenskapligt sätt i skriftlig och muntlig form; Examination: projektrapport och presentation

      Innehåll

      Tekniker för mikrosystemtillverkning
      Genomgång av principer för design och tillverkning av mikrostrukturer
      Mätteknik
      Komponentexempel - tillhandahålls även av gästföreläsare från näringslivet och genom företagsbesök hos producenter av mikromekaniska sensorer
      Projektarbete där design, tillverkning och utvärdering av en mikromekanisk sensor demonstreras

      Organisation

      En föreläsningsserie ges under kursens gång.

      Gästföreläsare från industrin beskriver kommersialiserade mikromekaniska sensorer och ger insikt i hur mikrosystem kan kommersialiseras.

      Tillverkningsdemonstrationer i vårt renrum, COMSOL-övning, en karakteriseringövning i mätlabbet och besök på ett lokalt företag är obligatoriska moment.

      En stor del av studierna är i form ett projektarbete om konceptualisering, utformning och (planerad) tillverkning av en mikrosystemkomponent. En litteraturstudie och projektpresentation (skriftlig och muntlig) ingår också i projektarbetet.

      Litteratur

      Rekommendationer
      Introductory MEMS, Fabrication and Applications, T. M. Adams, R. A. Layton, Springer, ISBN 978-0-387-09510-3

      Microsensors MEMS and Smart devices, Julien W. Gardner, Vijay K. Varadan and Osama O Awadelkarim, John Wiley & Sons, ISBN 0-471-86109-X.

      Micromachined Transducers Sourcesbook, Gregory T.A. Kovacs, WCB/McGraw-Hill, ISBN 0-07-290722-3

      Examination inklusive obligatoriska moment

      Kursen består av två delar i form av en föreläsningsserie och ett projektarbete som utförts av grupper på upp till 3 studenter. Slutbetyget för varje elev bestäms utifrån resultaten av en obligatorisk skriftlig tentamen, en skriftlig rapport och muntlig presentation av projektarbetet.

      För godkänt måste man ha deltagit i demonstration av tillverkning i renrum, simulering med COMSOL, karakterisering i mätlabb samt studiebesök på företag.

      Kursplanen innehåller ändringar

      • Ändring gjord på tentamen:
        • 2020-09-30: Plussning Inte längre plussning av GRULG
          Beslut GRULG, plussning ej tillåten