Avdelningen för Mikrovågselektronik är den del av institutionen Mikroteknologi och Nanovetenskap. Avdelningens huvudinriktning är mot forskningsaktiviteter inom halvledarbaserad mikrovågselektronik för frekvenser mellan 1 GHz till 400 GHz. Typiska applikationer finns inom kommunikation och fjärranalys. Avdelningen deltar också aktivt i master och civilingenjörsprogrammen och håller i flera av kurserna som ges i masterprogrammen.

Avdelningschef: Herbert Zirath.